光纤光谱仪,等离子體(tǐ)监控系统

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PlasCalc系列等离子體(tǐ)监控系统

可(kě)在仅3ms内测量200~1100nm波長(cháng)范围内的等离子體(tǐ)的发射。PlasCals测量系统為(wèi)数据的获取提供过程控制和精密的数据运算。

  • 1.0nm(FWHM)光學(xué)解析度
  • 200~1100nm波長(cháng)范围
  • 快速建立和保存实验方法

查看通用(yòng)的等离子體(tǐ)测量系统USB4000光谱仪

编辑工具

编辑工具可(kě)以使用(yòng)户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用(yòng)该工具可(kě)以对多(duō)数复杂的等离子體(tǐ)过程建立简便而有(yǒu)效的步骤设置:例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理(lǐ)、分(fēn)析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。

用(yòng)于简单的等离子體(tǐ)诊断的多(duō)重工具

PlasCalc等离子體(tǐ)监控系统配有(yǒu)操作软件,所提供的完整的公式编辑器可(kě)以进行所有(yǒu)需要的数學(xué)和算法功能(néng)。我们同时提供一个可(kě)选配的放射波長(cháng)数据库,可(kě)以另外单独購(gòu)买,它能(néng)够提供种类的鉴定;而波長(cháng)编辑器则使用(yòng)户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口,可(kě)以同时显示真实的光谱和所有(yǒu)控制过程信息。

SPECIFICATIONS

Spectral range:

200-1100 nm

Optical resolution:

1.0 nm (FWHM)

D/A converter:

14 bit

Digital Input/Output:

8 x TTL

Analog Output:

4 x [0-10V]

Interface:

USB 1.1

Power consumption:

12 VDC @ 1.25 A

Power requirements:

90-240 VAC 50/60 Hz

Dimensions:

257 mm x 152 mm x 263 mm

Weight:

5 kg

 


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